超高純氣體純化設備
一般大宗氣體 (Bulk Gas) 使用量較大的幾種氣體：
有氮氣 (N2) 、氧氣 (O2) 、氫氣 (H2) 、氬氣 (AR) 、氦氣 (He) 、壓縮空氣 (CDA) 為主。
全系列超高純氣體純化器
純化器介紹(大宗氣體/特殊氣體)
可純化氣體種類
氮氣 (N2)、氫氣 (H2) 、氧氣 (O2)、
二氧化碳 (CO2)、壓縮空氣 (CDA)
惰氣（氦 (He) 、氖 (Ne)、氬 (AR)、氪 (Kr)、氙 (Xe))
純化器種類
- 物理/化學吸附
- Getter
- 觸媒
- 鈀膜式純化
氣體回收再利用
He 、Ar 、SF6
純度
純化器、CDA、POU：2N～9N
可去除雜質
- Particle filter 選配：20μm、0.1μm、0.003μm 。
尚有其他多種Filter尺寸可供選擇。 - H2、O2、N2、CO、CO2、H2O、THC（總碳氫化合物）
註：POU只去除NMHC，甲烷不能由POU去除。
POU介紹
可純化氣體種類
- 惰氣系列: He、Ne、Ar、Kr、Xe、N2
- 燃氣系列：烷類、H2、D2
- 鹵烴系列：CXFX
- 氫化物系列：NH3、SiH4、AsH3、PH3
- 氫化物／惰氣混合系列: 1-10% AsH3、GeH4
- PH3與He、Ne、Ar、Kr、 Xe、N2、H2混合
- 腐蝕系列：BCl3、Cl2、SiCl4、SiHCl3（TCS）、SiH2Cl2（DCS）、HBr 、HCl、HF
- others：CO、NO、CO2、N2O、O2、(CH3)2O、SF6、C2H2