online線上型純化器
Bulk Gas/Special Gas
產品介紹
NANOCHEM.純化器──您可以信賴的品牌
早在1 9 8 5年，Matheson氣體公司的NANOCHEM®純化器便開始為電子行業提供前所未有的純化解決方案。NANOCHEM®淨化器是第一台可為半導體行業提供高達9個9 的氣體純度的淨化器。而今，NANOCHEM®淨化器已成為能全面滿足特種氣醴用戶各種要求（如：氣源、使用點、桶式和近似氣體淨化）的解決方案。
Matheson氣體公司擁有行業中最多的內部評估實驗室，以評估其他系統部件的品質。此來，NANOCHEM®淨化產品就可以選擇品質最高的部件。進行"現場氣體”試驗的目的是為了確保純化器能達到或超過市場上銷售的特殊加工氣體的性能規格要求。
NANOCHEM®
純化器將氣體專用的淨化媒介和超高純硬體集成於一個系統，以消除下列原因造成的污染：
•上游洩漏
•不正確的氣缸更換
•氣缸排氣時增加的雜質濃度
•氣體系統部件污染
•部件/管道氣體滯留造成的虛假洩漏
純化性能優點
NANOCHEM®純化器具有眾多優點，如減少設備停機時間、防止氣體供應品質的波動和上游系統的變化。對於半導體/複合半導體產業的典型優點表現在以下幾個方面：
•提高載體的濃度和流動性
•更快的晶體生長率
•改善表面形態的均勻性
•減少磊晶層及基板的缺陷
•更長的設備壽命及降低的部件腐蝕
NANOCHEM®純化器能提供最大的使用壽命以及最佳的除雜質效率。
NANOCHEM®純化器可用於：
•矽源氣體
•氮化氣體
•腐蝕性氣體
•吹掃氣體
•載體氣體
氧氣、水分和其他污染物的濃度可降低到小於0.1個ppb（十億分率），達到了當今最先進的分析儀器的檢測精度極限。
NANOCHEM®純化器結構緊湊並且易於使用 ，能安裝在氣體櫃的內部或工藝工具上，絕大多數的純化器無需加熱或冷卻，並能夠處理大範圍內的流速和壓力。
